德國(guó)PI Physik Instrumente 光學(xué)實(shí)驗(yàn)位移臺(tái) 促動(dòng)器 線(xiàn)性促動(dòng)器 P-753

P-753 LISA線(xiàn)性促動(dòng)器和平臺(tái)

應(yīng)用領(lǐng)域：

掃描顯微鏡

測(cè)量技術(shù)

測(cè)試程序和質(zhì)量保證

光子

光纖定位

產(chǎn)品參數(shù)：

型號(hào)：P-753.1CD

主動(dòng)軸：X

集成傳感器：電容式

行程，閉環(huán)：15微米

分辨率，閉環(huán)：0.1納米

線(xiàn)性誤差，閉環(huán)：0.03%

重復(fù)精度：±1納米

螺距/偏轉(zhuǎn)角：±5微弧度

運(yùn)動(dòng)方向上的剛性：45牛/微米

諧振頻率，空載：5.6千赫茲

帶200 克負(fù)載時(shí)的諧振頻率：2.5千赫茲

運(yùn)動(dòng)方向上的推/拉力：100 / 20牛

型號(hào)：P-753.2CD

主動(dòng)軸：X

集成傳感器：電容式

行程，閉環(huán)：30微米

分辨率，閉環(huán)：0.2納米

線(xiàn)性誤差，閉環(huán)：0.03%

重復(fù)精度：±2納米

螺距/偏轉(zhuǎn)角：±7微弧度

運(yùn)動(dòng)方向上的剛性：24牛/微米

諧振頻率，空載：3.7千赫茲

帶200 克負(fù)載時(shí)的諧振頻率：1.7千赫茲

運(yùn)動(dòng)方向上的推/拉力：100 / 20牛

型號(hào)：P-753.3CD

主動(dòng)軸：X

集成傳感器：電容式

行程，閉環(huán)：38微米

分辨率，閉環(huán)：0.25納米

線(xiàn)性誤差，閉環(huán)：0.03%

重復(fù)精度：±3納米

螺距/偏轉(zhuǎn)角：±10微弧度

運(yùn)動(dòng)方向上的剛性：16牛/微米

諧振頻率，空載：2.9千赫茲

帶200 克負(fù)載時(shí)的諧振頻率：1.4千赫茲

運(yùn)動(dòng)方向上的推/拉力：100 / 20牛

德國(guó)PI Physik Instrumente 光學(xué)實(shí)驗(yàn)位移臺(tái) 促動(dòng)器 線(xiàn)性促動(dòng)器 P-753